Уваров Илья Владимирович

Уваров Илья Владимирович

E-mail: i.v.uvarov@bk.ru

Высшее образование

ЯрГУ, 2010 г., специальность «Радиофизика и электроника», диплом с отличием.

Аспирантура

ЯрГУ, 2013 г., кандидат физико-математических наук

Трудовая деятельность

  • ЯФ ФТИАН им. К.А. Валиева РАН – старший научный сотрудник;
  • ЯрГУ – доцент

Перечень преподаваемых дисциплин

  • Физика и технология микроэлектромеханических систем
  • Физика

Научная деятельность

Специалист в области микросистемной техники. Является автором более 40 работ в ведущих международных журналах по микро- и нанотехнологии. Руководитель грантов РНФ, РФФИ, Президента РФ, Фонда содействия инновациям. Научные интересы: микродвигатели, МЭМС-переключатели, микронасосы.

Руководство научными проектами

  1. Фонд содействия инновациям, проект № 91740 «Разработка микроэлектромеханического переключателя для перспективных радиолокационных систем», 2024, финансирование 3 млн. руб.
  2. Фонд содействия инновациям, проект № 91354 «Разработка микромеханического СВЧ-реле для передовых систем связи», 2024, финансирование 1 млн. руб.
  3. Проект РНФ 18-79-10038 «Быстрый электрохимический микронасос для портативного модуля доставки лекарств», 2018-2023, финансирование 27 млн. руб.
  4. Грант Президента РФ для государственной поддержки молодых российских ученых - кандидатов наук МК-945.2021.4 «МЭМС-переключатель для перспективных систем связи и радиолокации», 2021-2022, финансирование 1,2 млн. руб.
  5. Проект РФФИ 16-37-60065 мол_а_дк «Бистабильный МЭМС-переключатель электростатического типа с низким напряжением срабатывания», 2016-2018, финансирование 5,1 млн. руб.
  6. Проект РФФИ 14-07-31156 мол_а «Снижение напряжения срабатывания микропереключателя электростатического типа путем использования кантилевера со сверхвысоким отношением длины к толщине», 2014-2015, финансирование 0,8 млн. руб.
Основные публикации за последние 5 лет
  1. Уваров И.В., Шлепаков П.С., Абрамычев А.М., Световой В.Б. Быстрый электрохимический микронасос для портативного модуля доставки лекарств // Микроэлектроника. – 2023. – Том 52. – № 3. – С. 227-235. DOI 10.31857/S0544126923700345
  2. Uvarov I.V., Svetovoy V.B. Nanoreactors in action for a durable microactuator using spontaneous combustion of gases in nanobubbles // Scientific Reports. – 2022. – Vol. 12. – 20895. https://doi.org/10.1038/s41598-022-25267-2 (Q1)
  3. Uvarov I.V., Melenev A.E., Svetovoy V.B. Fast electrochemical actuator with Ti electrodes in the current stabilization regime // Micromachines. – 2022. – Vol. 13. – 283. https://doi.org/10.3390/mi13020283
  4. Uvarov I.V. Migration of adhesive material in electrostatically actuated MEMS switch // Microelectronics Reliability. – 2021. – Vol. 125. – 114372. https://doi.org/10.1016/j.microrel.2021.114372
  5. Uvarov I.V., Shlepakov P.S., Melenev A.E., Ma K., Svetovoy V.B., Krijnen G.J.M. A peristaltic micropump based on the fast electrochemical actuator: Design, fabrication, and preliminary testing // Actuators. – 2021. – Vol. 10. – 62. https://doi.org/10.3390/act10030062
  6. Uvarov I.V., Shlepakov P.S., Postnikov A.V., Svetovoy V.B. Highly energetic impact of H2 and O2 nanobubbles on Pt surface // Journal of Colloid and Interface Science. – 2021. – Vol. 582. – P. 167-176. https://doi.org/10.1016/j.jcis.2020.07.135 (Q1)
  7. Uvarov I.V., Melenev A.E., Selyukov R.V., Svetovoy V.B. Improving the performance of the fast electrochemical actuator // Sensors and Actuators A: Physical. – 2020. – Vol. 315. – 112346. https://doi.org/10.1016/j.sna.2020.112346 (Q1)
  8. Uvarov I.V., Selyukov R.V., Naumov V.V. Testing of aluminium and its alloys as structural materials for a MEMS switch // Microsystem Technologies. – 2020. – Vol. 26. – P. 1971-1980. https://doi.org/10.1007/s00542-020-04748-2
  9. Uvarov I.V., Melenev A.E., Lokhanin M.V., Naumov V.V., Svetovoy V.B. A fast electrochemical actuator in the non-explosive regime // Journal of Micromechanics and Microengineering. – 2019. – Vol. 29. – 114001. https://doi.org/10.1088/1361-6439/ab3bde
  10. Uvarov I.V., Kupriyanov A.N. Stiction-protected MEMS switch with low actuation voltage // Microsystem Technologies. – 2019. – Vol. 25. – P. 3243-3251. https://doi.org/10.1007/s00542-018-4188-4
Контактная информация
Корпус А
150067, г. Ярославль, ул. Университетская, д. 21
(4852) 78-86-61