Тезисы и доклады конференций сотрудников ОП "Отдел микротехнологий" - Ярославль ОФТИ им. К.А. Валиева Центра перспективной микроэлектроники за 2026 год
- Морозов М.О., Уваров И.В. Последовательно-шунтирующий МЭМС-переключатель для перспективной радиоэлектроники в диапазоне частот 1-20 ГГц. XХХIII Международная научная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Ломоносов - 2026» (по КПНМ) г. Москва, 10-25 апреля 2026 г. (стендовый доклад)
- Стекольщиков Е.В., Лях М.А., Уваров И.В. Калориметрический МЭМС-датчик скорости потока газов на основе высокоаспектных платиновых проводников. XХХIII Международная научная конференция студентов, аспирантов и молодых ученых «Ломоносов - 2026» (по КПНМ) г. Москва, 10-25 апреля 2026 г. (стендовый доклад)
- Белов Я.Д., Зимин С.П., Изюмов М.О., Мазалецкий Л.А., Челноков А.А. Модификация нанокристаллических пленок золота при ионно-плазменной обработке вблизи порога распыления. // Тезисы Докладов 55-Й Международной Тулиновской конференции по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц С Кристаллами (Москва 26 – 29 мая 2026) с. 45 (стендовый доклад) (PDF)
- Смирнова М.А., Бачурин В.И., Мазалецкий Л.А., Пухов Д.Э., Чурилов А.Б. Эволюция топографии фосфида, арсенида и антимонида индия, облученных при различных флюенсах и углах падения пучка ионов галлия. // Тезисы Докладов 55-Й Международной Тулиновской конференции по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц С Кристаллами (Москва 26 – 29 мая 2026) с. 73 (устный доклад) (PDF)
- Фаттахов И.С., Трушин О.С., Попов А.А., Мазалецкий Л.А. Влияние подложки на формирование массивов наноструктур при наклонном напылении. // Тезисы Докладов 55-Й Международной Тулиновской конференции по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц С Кристаллами (Москва 26 – 29 мая 2026) с. 89 (стендовый доклад) (PDF)
- Паршин Е.О., Мелесов Н.С., Бачурин В.И., Потапов Е.В., Симакин С.Г., Чурилов А.Б. Иследование приповерхностного слоя карбида кремния имплантированного ионами алюминия методами ВИМС и спектроскопии РОР. // Тезисы Докладов 55-Й Международной Тулиновской конференции по Физике Взаимодействия Заряженных Частиц С Кристаллами (Москва 26 – 29 мая 2026) с. 95 (стендовый доклад) (PDF)
- Стекольщиков Е. В. , Лях М. А. , Уваров И. В. Двунаправленный датчик скорости потока газа на основе технологии МЭМС. // Сборник тезисов 13-й Школы-конференции с международным участием по Оптоэлектронике, Фотонике и Наноструктурам «Saint Petersburg OPEN 2026», 26-29 мая 2026, Санкт-Петербург с. 91-92 (стендовый доклад) (PDF)
- Белозеров И.А., Куприянов А.Н., Уваров И.В. Контактное сопротивление и ресурс МЭМС-переключателя при разных токах коммутации. // Сборник тезисов 13-й Школы-конференции с международным участием по Оптоэлектронике, Фотонике и Наноструктурам «Saint Petersburg OPEN 2026», 26-29 мая 2026, Санкт-Петербург с. 117-118 (стендовый доклад) (PDF)
- Шлепаков П.С., Уваров И.В., Световой В.Б. Влияние диаметра рабочей камеры на перемещение и развиваемую силу взрывного актюатора. // Сборник тезисов 13-й Школы-конференции с международным участием по Оптоэлектронике, Фотонике и Наноструктурам «Saint Petersburg OPEN 2026», 26-29 мая 2026, Санкт-Петербург с. 129-130 (стендовый доклад) (PDF)
- Морозов М.О., Уваров И.В. Расчет рабочих характеристик МЭМС-переключателя последовательно-шунтирующего типа для диапазона частота 0.4-10 ГГц. // Сборник тезисов 13-й Школы-конференции с международным участием по Оптоэлектронике, Фотонике и Наноструктурам «Saint Petersburg OPEN 2026», 26-29 мая 2026, Санкт-Петербург с. 131-132 (стендовый доклад) (PDF)
- Грушевский Е.А., Савинский Н.Г., Трушин О.С., Наумов В.В., Селюков Р. В. Исследование фазового состава ферромагнитных нанопроволок в процессе электрохимического осаждения в поры анодного окисла алюминия. // Сборник тезисов 13-й Школы-конференции с международным участием по Оптоэлектронике, Фотонике и Наноструктурам «Saint Petersburg OPEN 2026», 26-29 мая 2026, Санкт-Петербург с. 185-186 (стендовый доклад) (PDF)
- Лях М.А., Проказников А.В., Папорков В.А., Селюков Р.В., Наумов В.В. Связь магнитных свойств и магнитоупругих взаимодействий в многослойных магнитных структурах. // Сборник тезисов 13-й Школы-конференции с международным участием по Оптоэлектронике, Фотонике и Наноструктурам «Saint Petersburg OPEN 2026», 26-29 мая 2026, Санкт-Петербург с. 219-220 (стендовый доклад) (PDF)
- Фаттахов И.С., Трушин О.С., Попов А.А., Мазалецкий Л.А., Федоров А.С., Логунов М.В. Управление оптической киральностью в кремниевых наноспиралях, полученных методом наклонного напыления, через изменение геометрических параметров. // Сборник тезисов 13-й Школы-конференции с международным участием по Оптоэлектронике, Фотонике и Наноструктурам «Saint Petersburg OPEN 2026», 26-29 мая 2026, Санкт-Петербург с. 304-305 (стендовый доклад) (PDF)
- Чебохин М.М., Трушин О.С., Фаттахов И.С. Моделирование кирального оптического отклика никелевых наноспиралей. // Сборник тезисов 13-й Школы-конференции с международным участием по Оптоэлектронике, Фотонике и Наноструктурам «Saint Petersburg OPEN 2026», 26-29 мая 2026, Санкт-Петербург с. 306-307 (стендовый доклад) (PDF)
- Стекольщиков Е.В. Калориметрический МЭМС-датчик скорости потока газов на основе высокоаспектных платиновых проводников. Всероссийская с международным участием молодежная научно-практическая конференция «Физика, техника и технология сложных систем» Ярославль, 23 апреля – 7 мая 2026 г. (устный доклад)