IV Внутривузовский конкурс «Молодежь и наука»
07 февраля 2012 г. в Ярославском Государственном университете им. П.Г. Демидова состоялась очная защита проектов по IV Внутривузовскому конкурсу «Молодежь и наука». Конкурсная комиссия признала победителями Конкурса с выплатой гранта, а также рекомендовала к участию в НТТМ-2012 несколько молодежных инновационных проектов, в том числе проект Козина И.А. и Уварова И.В. «Стенд для измерения динамических характеристик микро- и наномеханических устройств» под научным руководством Амирова И.И. и Зимина С.П.
На базе ЯФ ФТИАН изготовлен стенд для измерения динамических характеристик ЧЭ МЭМС и НЭМС:
- Работа стенда основана на оптическом методе измерения перемещений - методе «светового рычага»;
- Оптический метод не накладывает ограничений на измеряемые резонансные частоты и добротности образцов;
- Стенд позволяет тестировать ЧЭ при давлениях воздуха в диапазоне от 10-3 до 105 Па;
Стенд является универсальным измерительным инструментом. Он широко используется ЯФ ФТИАН в производственных и научных целях. Экспериментальные результаты, полученные с использованием данного стенда, опубликованы в нескольких статьях:
- Уваров И.В., Козин И.А., Амиров И.И. Исследование влияния давления воздуха на динамику чувствительного элемента микромеханических устройств. // Вестник ЯрГУ. Серия Естественные и технические науки, 2010, №2, стр. 38-42.
- Уваров И.В., Морозов О.В., Козин И.А., Постников А.В., Амиров И.И., Кальнов В.А. Динамические характеристики чувствительного элемента микроакселерометра с повышенным фактором демпфирования. // Нано- и микросистемная техника, 2011, № 12, с. 38-40.
- Козин И.А., Постников А.В., Моpозов О.В. Исследование динамики микроэлектромеханических устройств с нанесенной металлизацией. // Нано- и микросистемная техника, 2011, № 12, с. 43-45.
- Уваров И.В., Наумов В.В., Аминов М.К., Куприянов А.Н., Амиров И.И. Исследование резонансных характеристик металлических микро- и нанобалок. // Нано- и микросистемная техника, 2011, № 12, с. 45-48.
Рис. Схема стенда (метод «светового рычага»).