Лаборатории
- Лаборатория диагностики микро– и наноструктур
- (руководитель структурного подразделения Чурилов Анатолий Борисович)
- Лаборатория тонкопленочных источников тока
- (руководитель структурного подразделения Рудый Александр Степанович)
- Лаборатория технологии микро- и наносистемной техники
- (руководитель структурного подразделения Амиров Ильдар Искандерович)
- Лаборатория наноэлектроники и спинтроники
- (руководитель структурного подразделения Трушин Олег Станиславович)
- Лаборатория физики и технологии наноструктур
- (руководитель структурного подразделения Мордвинцев Виктор Матвеевич)