«Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт»
ЯФ ФТИАН им. К.А. Валиева РАН
Ярославский Филиал Федерального государственного бюджетного учреждения науки Физико-технологического института имени К.А. Валиева Российской академии наук
Труды конференции ISI 2021: Том 1, Том 2, Том 3 (PDF, на сайте конференции)
S. Krivelevich. Tristate Transistors. Base Parameters and Impurities Distribution. ICMNE – 2021. Book of Abstracts. O1-04. P. 14.
O.S. Trushin. Competing mechanisms of strain relaxation in Ge/Si(001) heteroepitaxy. ICMNE – 2021. Book of Abstracts. O2-15. P. 67.
E.S. Gorlachev, V.M. Mordvintsev, S.E. Kudryavtsev. Study of inert gas pressure influence on electroforming and resistive switching of TiN-TiO2-SiO2-W memristors. ICMNE – 2021. Book of Abstracts. P1-01. P. 82.
S.E. Kudryavtsev, V.M. Mordvintsev, V.V. Naumov, E.S. Gorlachev. Effect of electrodes material on the I-V-curve and switching of memristors on the base of electroformed open metal-SiO2-metal sandwich structure. ICMNE – 2021. Book of Abstracts. P1-02. P. 83.
A.E. Berdnikov, A.A. Popov. Memristor Effect in Electrolyte–Insulator–Semiconductor Structure. ICMNE – 2021. Book of Abstracts. P1-03. P. 84.
P.S. Shlepakov, I.V. Uvarov. FEM simulation of AlN-based MEMS energy harvester. ICMNE – 2021. Book of Abstracts. P1-22. P. 103.
A. Babushkin, R. Selyukov. Modeling the assembly of a microinductor made by using residual mechanical stress. ICMNE – 2021. Book of Abstracts. P1-32. P. 113.
I.I. Amirov, M.O. Izyumov, A.N. Kupriyanov. Low-energy etching of W and Mo films in halogen-containing plasma in continuous and atomic-layer etching mode. ICMNE – 2021. Book of Abstracts. O3-07. P. 124.
O.S. Trushin, A.A. Popov, A.N. Pestova, L.A. Mazaletsky, A.A. Akulov, A.A. Lomov. Nanostructuring at oblique angle deposition. ICMNE – 2021. Book of Abstracts. O3-18. P. 135.
O.S. Trushin, A.N. Pestova. Development of the four probes method for express diagnostics of unpatterned spin tunnel structures. ICMNE – 2021. Book of Abstracts. O3-19. P. 136.
O.V. Morozov, S.V. Kurbatov. Fabrication of Si structures with extremely angled sidewalls by the modified Bosch process in a controlled manner. ICMNE – 2021. Book of Abstracts. O3-20. P. 137.
I.V. Uvarov, M.O. Izyumov, I.I. Amirov. Reliability issues for electrostatically actuated MEMS switch. ICMNE – 2021. Book of Abstracts. O3-23. P. 140.
I.V. Uvarov, A.E. Melenev, V.B. Svetovoy. A fast membrane actuator in the current stabilization regime. ICMNE – 2021. Book of Abstracts. O3-24. P. 141.
Ed.Yu. Buchin, Yu.I. Denisenko, S.G. Simakin. Ion synthesis of SOI structures with silicate insulating layers. ICMNE – 2021. Book of Abstracts. P2-01. P. 163.
R. Selyukov, M. Izyumov, V. Naumov, L. Mazaletskiy. Influence of low-energy Ar ion bombardment on the texture and resistivity of Ti films. ICMNE – 2021. Book of Abstracts. P2-13. P. 175.
D.M. Zakharov, A.A. Lomov, O.S. Trushin, L.A. Fomin. Structural and magnetic properties of nanostructured Co films fabricated by oblique angle deposition. ICMNE – 2021. Book of Abstracts. P2-17. P. 179.
A. Fadeev, A. Miakonkikh, S. Simakin, E. Smirnova, K. Rudenko. Influence of the duration of the oxygen-containing precursor supply on the carbon concentration during ALD. ICMNE – 2021. Book of Abstracts. P2-20. P. 182.
A.S. Rudy, A.N. Kulikov, V.I. Bacurin, E.A. Kozlov. Dynamics of trenches formation by moving ribbon ion beam. ICMNE – 2021. Book of Abstracts. P2-26. P. 188.
V. Ovcharov, V. Prigara. Induced bistability effect in the thermal reactor elements for a bistable mode of heat treatment of silicon wafers. ICMNE – 2021. Book of Abstracts. P2-30. P. 192.
В.И. Бачурин, Л.А. Мазалецкий, Д.Э. Пухов, М.А. Смирнова, А.Б. Чурилов, А.С. Рудый. Исследование развития топографии на поверхности кремния, облучаемой ионным пучком галлия. Труды XXV Международной конференции ВИП-2021. Том 1. С. 74-77.
Э.Ю. Бучин, Ю.И. Денисенко. Ионный синтез КНИ структур со свинцово-силикатным изолятором. Труды XXV Международной конференции ВИП-2021. Том 2. С. 77-80.
Н.С. Мелесов, Е.О. Паршин. Определение профиля концентрации кислорода в тонкоплёночных Si?O?Al-структурах методом ядерного обратного рассеяния (ЯОР). Труды XXV Международной конференции ВИП-2021. Том 2. С. 115-118.
Н.С. Мелесов, Е.О. Паршин. Исследование эволюции профилей дефектов в процессе термического отжига кремния, аморфизованного имплантацией ионов германия. Труды XXV Международной конференции ВИП-2021. Том 2. С. 133-136.
А.С. Бабушкин, А.Н. Куприянов. Исследование методом молекулярной динамики формирования механических напряжений в поликристаллических пленках Cr, а также влияния бомбардировки ионами Ar во время и после осаждения. Труды XXV Международной конференции ВИП-2021. Том 2. С. 223-226.
А.В. Проказников, В.А. Папорков, В.А. Чириков. Особенности магнитооптического отклика наноструктур, сформированных в различных режимах ионной обработки поверхности. Труды XXV Международной конференции ВИП-2021. Том 2. С. 263-266.
Р.В. Селюков, М.О. Изюмов, В.В. Наумов, Л.А. Мазалецкий. Изменения текстуры пленок Ti при ионно-плазменной обработке. Труды XXV Международной конференции ВИП-2021. Том 2. С. 267-270.
С.В. Курбатов, А.С. Рудый, О.В. Морозов. Изготовление микроструктурированной кремниевой подложки для 3D твердотельных литий ионных аккумуляторов. Труды XXV Международной конференции ВИП-2021. Том 3. С. 29-32.
И.И. Амиров, Р.В. Селюков, В.В. Наумов. Влияние ионно-плазменной обработки на электроповодность пленок вольфрама нанометровой толщины. Труды XXV Международной конференции ВИП-2021. Том 3. С. 52-55.
Е.А. Грушевский, Н.Г. Савинский, В.И. Бачурин, Л.А. Мазалецкий. Формирование наноразмерных матриц анодированного алюминия оксида с использованием метода электролитно-плазменной обработки материалов. Труды XXV Международной конференции ВИП-2021. Том 3. С. 93-96.
М. О. Изюмов. Исследование теплообмена высокоплотной плазмы низкого давления с кремниевыми пластинами методом лазерной интерферометрии. Труды XXV Международной конференции ВИП-2021. Том 3. С. 97-100.
Савельев Д.Н., Грушевский Е.А., Смирнова М.А., Мазалецкий Л.А., Савинский Н.Г., Бачурин В.И., Чурилов А.Б. Электрофоретическое осаждение графено - подобных пленок и исследование их методами структурного анализа. Труды XXV Международной конференции ВИП-2021. Том 3. С. 115-118.
С.П. Зимин, И.И. Амиров, В.В. Наумов, Я.Д. Белов, E. Abramof, P.H.O. Rappl. Ионно-плазменная модификация поверхности пленок теллурида свинца-олова при малых энергиях ионов. Труды XXV Международной конференции ВИП-2021. Том 3. С. 139-141.
A A Akulov, O S Trushin, A A Popov, A N Pestova and L A Mazaletsky. Nanostructuring at oblique incidence deposition of cobalt. “Saint Petersburg OPEN 2021”. Book of abstracts. P. 26-27.
E Grushevski, D Savelev, L Mazaletski, N Savinski and D Puhov. The scalable production of high-quality nanographite by organic radical-assisted electrochemical exfoliation. “Saint Petersburg OPEN 2021”. Book of abstracts. P. 37-38.
S V Kurbatov, A S Rudy, O V Morozov, A S Mironenko and V V Naumov. Fabrication technique of 3D all solid-state thin film lithiumion batteries. “Saint Petersburg OPEN 2021”. Book of abstracts. P. 71-73.
A N Pestova, O S Trushin. Four-point probe stand for magnetoresistance measurement of unpatterned wafers. “Saint Petersburg OPEN 2021”. Book of abstracts. P. 478-479.
D Savelev, Е Grushevski, N Savinski, M Soloviev, V Turov and V Krenev. The scalable production of high-quality nanographite by organic radical-assisted electrochemical exfoliation. “Saint Petersburg OPEN 2021”. Book of abstracts. P. 482-483.
I V Uvarov, N V Marukhin. A seesaw-type MEMS switch with enhanced contact force: the first results. “Saint Petersburg OPEN 2021”. Book of abstracts. P. 498-499.
P S Shlepakov, I V Uvarov. Design and simulation of the compact MEMS energy harvester based on aluminium nitride. “Saint Petersburg OPEN 2021”. Book of abstracts. P. 500-501.
S V Vasilev, I S Fattakhov. Processing of electron diffraction data on a transmission electron microscope. “Saint Petersburg OPEN 2021”. Book of abstracts. P. 591-592.
В.И. Бачурин, Л.А. Мазалецкий, Д.Э. Пухов*, М.А. Смирнова, А.Б. Чурилов, А.С. Рудый. Особенности формирования волнообразного рельефа на поверхности кремния при облучении ионным пучком галлия. Тезисы докладов 50-й международной Тулиновской конференции по физике взаимодействия заряженных частиц с кристаллами / Под ред. Проф. Н.Г. Чеченина. – М.: «КДУ», «Университетская книга», 2021. С. 77. Doi: 10.31453/kelu.ru91304.0147 ISBN 978-91304-958-2
П. С. Шлепаков, И. В. Уваров, С. П. Зимин. «Расчет рабочих характеристик вибрационного преобразователя энергии на основе нитрида алюминия» «Семьдесят четвертая всероссийская научно-техническая конференция студентов, магистрантов и аспирантов высших учебных заведений с международным участием» Ярославль. Сборник материалов конференции. С. 323-326.
Проказников А.В., Папорков В.А., Чириков В.А., Особенности магнитооптического отклика наноструктур различной формы и размеров, XXIV Международная научная конференция, "Новое в Магнетизме и Магнитных Материалах", НМММ-XXIV, 2021, Москва, с. 11-66 – 11-69.
Чириков В.А., Проказников А.В., Папорков В.А., Управление положением магнитного вихря в наноразмерных элементах магнитной памяти, Материалы XII конференции "Нанотехнологического общества России", 9-10 декабря 2021 г.
Зимин С.П., Колесников Н.Н., Тиванов М.С., Трофимова А.В., Амиров И.И., Наумов В.В., Горлачев Е.С. Влияние наноструктурирования поверхности кристаллов сульфида свинца в плазме на спектры оптического отражения // Физика конденсированных состояний: сб. тезисов II Международной конференции (31 мая – 4 июня 2021 года, Черноголовка) / под ред. Б.Б. Страумала. – Черноголовка, 2021. – C. 181
Амиров И.И. Формирование микро- и наноструктур с использованием плазменных процессов травления, осаждения и модификации поверхности. Приглашенный доклад на II Международной конференции «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур». Казань, 01-04 декабря 2021г.
Я.Д. Белов, С.П. Зимин, И.И. Амиров, В.В. Наумов. Влияние ионно-плазменной обработки на морфологию поверхности эпитаксиальных пленок теллурида – свинца-олова. Устный доклад на Международной конференции «Газоразрядная плазма и синтез наноструктур». Казань, 01-04 декабря 2021г.
Амиров И.И., Изюмов М.О., Мазалецкий Л.А. Эффкты формирования высокоаспктных Si структур при травлении в хлорсодержащей плазме.Сборник трудов IX Международного Симпозиума по теоретической и прикладной плазмохимии. Иваново. 2021 г. С.11.
Амиров И.И., Изюмов М.О., Шумилов А.С. Формирование металлических наносетчатых и нанопроволочных структур с использованием ионно-плазменных процессов. XIII Международная научно-техническая конференция «Низкотемпературная плазма в процессах нанесения функциональных покрытий». Казань, 02-04 ноября 2021г.
Маковийчук М.И., Бучин Э.Ю. Эффект магнитомиграции в металлических пленках. // Proceed. of Fourth International Conference “Actual Problems of Fundamental Science” – APFS’2021. (Lutsk – Svityaz’, 01 – 05.06.2021). – Lutsk: Lesya Ukrainka Eastern European National University Press “Vezha”, 2021. – P.63 – 64.
Маковийчук М.И., Бучин Э.Ю. Диссипативные структуры пористого кремния . // Proceed. of Fourth International Conference “Actual Problems of Fundamental Science” – APFS’2021. (Lutsk – Svityaz’, 01 – 05.06.2021). – Lutsk: Lesya Ukrainka Eastern European National University Press “Vezha”, 2021. – P.64 – 65.
Маковийчук М.И., Бучин Э.Ю. Использование процессов термомиграции в технологии МЭМС. // Proceed. of Fourth International Conference “Actual Problems of Fundamental Science” – APFS’2021. (Lutsk – Svityaz’, 01 – 05.06.2021). – Lutsk: Lesya Ukrainka Eastern European National University Press “Vezha”, 2021. – P.65 – 66.
Маковийчук М.И. Информативность метода низкочастотно-шумовой спектроскопии. // Proceed. of Fourth International Conference “Actual Problems of Fundamental Science” – APFS’2021. (Lutsk – Svityaz’, 01 – 05.06.2021). – Lutsk: Lesya Ukrainka Eastern European National University Press “Vezha”, 2021. – P.66 – 68.
Маковийчук М.И. Фликкер-шумовая спектроскопия термодефектов в кремнии. // Proceed. of Fourth International Conference “Actual Problems of Fundamental Science” – APFS’2021. (Lutsk – Svityaz’, 01 – 05.06.2021). – Lutsk: Lesya Ukrainka Eastern European National University Press “Vezha”, 2021. – P.69 – 71.
Маковийчук М.И. Адсорбционно-десорбционная фликкер-шумовая спектроскопия. // Proceed. of Fourth International Conference “Actual Problems of Fundamental Science” – APFS’2021. (Lutsk – Svityaz’, 01 – 05.06.2021). – Lutsk: Lesya Ukrainka Eastern European National University Press “Vezha”, 2021. – P.72 – 74.
Makoviychuk M.I., Prokaznikov A.V., Paporkov V.A. Fundamental problems of connection between magnetic configurations and scales of curved nanostructures in solids. // Proceed. of Fourth International Conference “Actual Problems of Fundamental Science” – APFS’2021. (Lutsk – Svityaz’, 01 – 05.06.2021). – Lutsk: Lesya Ukrainka Eastern European National University Press “Vezha”, 2021. – P.75 – 77.
Маковийчук М.И. Облучение и адсорбционная способность поверхности: исследование методом фликкер-шумовой спектроскопии. // Тезисы докладов XXXIII Симпозиума «Современная химическая физика» (24 сентября - 4 октября 2021 г., Туапсе). - М.: «Парк - медиа», 2021. - С. 113.
Кривелевич С.А. Квазистационарные распределения компонентов в системах с диффузией и химическими реакциями при наличии подвижных границ раздела. // Тезисы докладов XXXIII Симпозиума «Современная химическая физика» (24 сентября - 4 октября 2021 г., Туапсе). - М.: «Парк - медиа», 2021. - С. 103.
