Тезисы и доклады конференций сотрудников ОП "Отдел микротехнологий" - Ярославль ОФТИ им. К.А. Валиева Центра перспективной микроэлектроники за 2025 год
- Рудый А.С., Смирнова М.А., Бачурин В.И., Куликов А.Н. Формирование террасированного рельефа на поверхности кремния при облучении ионами галлия // «Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП-2025» Труды XXVII Международной конференции. 25 – 29 августа 2025 г. Том 1. С. 22-24.
- Смирнова М.А., Бачурин В.И., Лебедев М.Е., Лобзов К.Н., Мазалецкий Л.А., Пухов Д.Э., Симакин С.Г., Чурилов А.Б. Развитие топографии поверхности полупроводников А3В5 при облучении фокусированным ионным пучком галлия // «Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП-2025» Труды XXVII Международной конференции. 25 – 29 августа 2025 г. Том 1. С. 101-104.
- Смирнов В.К., Кибалов Д.С., Бачурин В.И., Чурилов А.Б., Рудый А.С. Периодические наноструктуры на поверхности GaAs и AlGaAs самофмируемые распылением ионами азота // «Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП-2025» Труды XXVII Международной конференции. 25 – 29 августа 2025 г. Том 1. С. 105-108.
- Амиров И.И., Куприянов А.Н., Изюмов М.О., Мазалецкий Л.А. Низкоэнергетическое распыление Al-Cu в аргоновой плазме. Эксперимент и моделирование // «Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП-2025» Труды XXVII Международной конференции. 25 – 29 августа 2025 г. Том 1. С. 112-115.
- A.S. Babushkin, A.N. Kupriyanov. A molecular dynamics study of mechanical stress changes in Cr and Cu polycrystalline films due to low energy Ar ionbombardment. // Труды XXVII Международной конференции«Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП-2025», Том 2. c. 19-22.
- Трушин О.С., Фаттахов И.С., Чебохин М.М., Титов Д.Р., Попов А.А., Мазалецкий Л.А. Управляемое наноструктурирование тонких пленок методом наклонного напыления // «Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП-2025» Труды XXVII Международной конференции. 25 – 29 августа 2025 г. Том 2. С. 103-106.
- Грушевский Е.А., Савинский Н.Г., Трушин О.С., Бачурин, В.И., Шендрикова Л.А. Синтез ферромагнитных одномерных наноструктур, электроосаждённых в матрицы оксида алюминия // «Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП-2025» Труды XXVII Международной конференции. 25 – 29 августа 2025 г. Том 2. С. 116-119.
- Грушевский Е.А., Савинский Н.Г., Трушин О.С. Микромагнитное моделирование групповых и одиночных одномерных ферромагнитных наноструктур // «Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП-2025» Труды XXVII Международной конференции. 25 – 29 августа 2025 г. Том 2. С. 151-153.
- Селюков Р.В., Проказников А.В., Папорков В.А., Лях М.А., Наумов В.В. Метод исследования магнитооптического отклика отдельных магнитных нанослоев трехслойной системы // «Взаимодействие ионов с поверхностью ВИП-2025» Труды XXVII Международной конференции. 25 – 29 августа 2025 г. Том 2. С. 255-258.
- Трушин О.С., Фаттахов И.С., Попов А.А., Мазалецкий Л.А., Федоров А.С., Логунов М.В. Перспективные киральные метаматериалы на основе наноструктрированных тонких пленок для фотоники и биосенсорики // Микро- и наноэлектроника – 2025 : Труды междунар. конф. (6–10 октября, 2025 г., Ярославль РФ) : Сборник тезисов / – Москва : МАКС Пресс, – 2025. – С. 51 (O1-16)
- Амиров И., Изюмов М. Изменение цвета пленки a-Si на поверхности Al-4%Cu/Si(100) при ее распылении в аргоновой плазме // Микро- и наноэлектроника – 2025 : Труды междунар. конф. (6–10 октября, 2025 г., Ярославль РФ) : Сборник тезисов / – Москва : МАКС Пресс, – 2025. – С. 76 (O1-28)
- Бучин Э. Термомиграция кластеров на поверхности наноматериалов // Микро- и наноэлектроника – 2025 : Труды междунар. конф. (6–10 октября, 2025 г., Ярославль РФ) : Сборник тезисов / – Москва : МАКС Пресс, – 2025. – С. 106 (L2-04)
- Грушевский Е.А., Савинский Н.Г., Трушин О.С. Микромагнитное моделирование гексагональных ансамблей высокоаспектных нанопроволок ферромагнетиков железа, никеля и кобальта // Микро- и наноэлектроника – 2025 : Труды междунар. конф. (6–10 октября, 2025 г., Ярославль РФ) : Сборник тезисов / – Москва : МАКС Пресс, – 2025. – С. 112 (O2-03)
- Мордвинцев В.М., Горлачев Е.С. Электроформовка мемристоров на основе открытых «сэндвич»-структур TiN-SiO2-Mo в смягченном режиме // Микро- и наноэлектроника – 2025 : Труды междунар. конф. (6–10 октября, 2025 г., Ярославль РФ) : Сборник тезисов / – Москва : МАКС Пресс, – 2025. – С. 220 (P1-05)
- Морозов О.В., Белозеров И.А. Разработка микромеханического емкостного привода для применения в ВЧ переключателях // Микро- и наноэлектроника – 2025 : Труды междунар. конф. (6–10 октября, 2025 г., Ярославль РФ) : Сборник тезисов / – Москва : МАКС Пресс, – 2025. – С. 230 (P1-10)
- Уваров И.В., Белозеров И.А., Морозов М.О. Микромеханический радиочастотный переключатель с контактом металл-металл // Микро- и наноэлектроника – 2025 : Труды междунар. конф. (6–10 октября, 2025 г., Ярославль РФ) : Сборник тезисов / – Москва : МАКС Пресс, – 2025. – С. 300 (O3-26)
- Морозов М.О., Уваров И.В. Перестраиваемый РЧ МЭМС-переключатель для систем беспроводной связи // Микро- и наноэлектроника – 2025 : Труды междунар. конф. (6–10 октября, 2025 г., Ярославль РФ) : Сборник тезисов / – Москва : МАКС Пресс, – 2025. – С. 302 (O3-27)
- Белозеров И.А., Уваров И.В. Расчет температуры контактов МЭМС-переключателя методом конечных элементов // Микро- и наноэлектроника – 2025 : Труды междунар. конф. (6–10 октября, 2025 г., Ярославль РФ) : Сборник тезисов / – Москва : МАКС Пресс, – 2025. – С. 304 (O3-28)
- Денисенко Ю. Особенности диссипативных процессов при отжиге структур кремния со скрытыми силикатными слоями // Микро- и наноэлектроника – 2025 : Труды междунар. конф. (6–10 октября, 2025 г., Ярославль РФ) : Сборник тезисов / – Москва : МАКС Пресс, – 2025. – С. 316 (P2-04)
- Грушевский Е.А., Савинский Н.Г., Мазалецкий Л.А., Трушин О.C., Шендрикова Л.А. Особенности технологии электрохимической кристаллизации наноцилиндрических высокоаспектных ферромагнетиков Fe, Ni, Co в порах анодного окисла алюминия // Микро- и наноэлектроника – 2025 : Труды междунар. конф. (6–10 октября, 2025 г., Ярославль РФ) : Сборник тезисов / – Москва : МАКС Пресс, – 2025. – С. 322 (P2-07)
- Курбатов С., Мелесов Н., Паршин Е., Рудый А., Наумов В. Исследование осаждения лития в «безанодных» твердотельных тонкопленочных аккумуляторах методом резерфордовского обратного рассеяния // Микро- и наноэлектроника – 2025 : Труды междунар. конф. (6–10 октября, 2025 г., Ярославль РФ) : Сборник тезисов / – Москва : МАКС Пресс, – 2025. – С. 328 (P2-10)
- Чебохин М. М., Фаттахов И. С., Попов А. А., Трушин О. С. Моделирование роста киральных наноструктур при наклонном напылении // Микро- и наноэлектроника – 2025 : Труды междунар. конф. (6–10 октября, 2025 г., Ярославль РФ) : Сборник тезисов / – Москва : МАКС Пресс, – 2025. – С. 331 (P2-11)
- Фаттахов И.С., Трушин О.С., Попов А.А., Грушевский Е.А., Мазалецкий Л.А., Логунов М.В., Федоров А.С. Влияние наношаблона из пористого алюминия на рост и оптическую активность наноспиралей, полученных методом наклонного напыления // Микро- и наноэлектроника – 2025 : Труды междунар. конф. (6–10 октября, 2025 г., Ярославль РФ) : Сборник тезисов / – Москва : МАКС Пресс, – 2025. – С. 333 (P2-12)
- Фаттахов И.С., Трушин О.С., Попов А.А., Мазалецкий Л.А., Логунов М.В., Федоров А.С. Циркулярный дихроизм и вращение плоскости поляризации в киральных наноструктурах меди и никеля // Микро- и наноэлектроника – 2025 : Труды междунар. конф. (6–10 октября, 2025 г., Ярославль РФ) : Сборник тезисов / – Москва : МАКС Пресс, – 2025. – С. 335 (P2-13)
- (15) Смирнов В.К., Кибалов Д.С., Бачурин В.И., Чурилов А.Б., Рудый А.С. Температурная зависимость периода волнообразной наноструктуры при распылении кремния ионами // Микро- и наноэлектроника – 2025 : Труды междунар. конф. (6–10 октября, 2025 г., Ярославль РФ) : Сборник тезисов / – Москва : МАКС Пресс, – 2025. – С. 337 (P2-14)
- Зимин С., Амиров И., Мазалецкий Л., Колесников Н., Ершов Д., Челноков А., Белов Я. Образование пористых свинцовых микро- и наноструктур на поверхности PbX (X = Se, S, Te) при ионно-плазменной обработке вблизи порога распыления // Микро- и наноэлектроника – 2025 : Труды междунар. конф. (6–10 октября, 2025 г., Ярославль РФ) : Сборник тезисов / – Москва : МАКС Пресс, – 2025. – С. 339 (P2-15)
- Постников А.В., Уваров И. И., Шлепаков П.С., Световой В.Б. МЭМС как научный инструмент: Точное измерение энергии адгезии с помощью залипшего кантилевера // Микро- и наноэлектроника – 2025 : Труды междунар. конф. (6–10 октября, 2025 г., Ярославль РФ) : Сборник тезисов / – Москва : МАКС Пресс, – 2025. – С. 361 (O4-10)
- Шлепаков П. С., Световой В. Б., Уваров И. В. Повышение быстродействия микроактюатора на основе взрыва водород-кислородной смеси // Микро- и наноэлектроника – 2025 : Труды междунар. конф. (6–10 октября, 2025 г., Ярославль РФ) : Сборник тезисов / – Москва : МАКС Пресс, – 2025. – С. 365 (O4-12)
- Шлепаков П. С., Морозов О. В., Уваров И. В. Пассивный микрофлюидный клапан с пониженным пороговым давлением // Микро- и наноэлектроника – 2025 : Труды междунар. конф. (6–10 октября, 2025 г., Ярославль РФ) : Сборник тезисов / – Москва : МАКС Пресс, – 2025. – С. 367 (O4-13)
- Морозов М.О., Уваров И.В. MEMS switch with an intermediate electrode for high-speed communication networks // 12th International School and Conference "Saint-Petersburg OPEN 2025" on Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures. BOOK of ABSTRACTS. С. 148-149.
- Белозеров И.А., Уваров И.В. A compact MEMS switch based on a cantilever with three elastic elements // 12th International School and Conference "Saint-Petersburg OPEN 2025" on Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures. BOOK of ABSTRACTS. С. 128-129.
- Шлепаков П.С., Световой А.Б., Уваров И.В. Methods for increasing the performance of a microactuator based on a hydrogen-oxygen mixture explosion // 12th International School and Conference "Saint-Petersburg OPEN 2025" on Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures. BOOK of ABSTRACTS. С. 174-175.
- Белов Я.Д., Зимин С.П., Амиров И.И. Calculation of the volume of nano- and microstructures formed on the surface of PbTe during ion-plasma treatment using machine learning // 12th International School and Conference "Saint-Petersburg OPEN 2025" on Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures. BOOK of ABSTRACTS. С. 188-189.
- Грушевский Е.А., Савинский Н.Г, Трушин О.С., ВасильевС.В., Наумов В.В., Шендрикова Л.А. Magnetic properties of iron nanowires in a porous aluminum oxide matrix // 12th International School and Conference "Saint-Petersburg OPEN 2025" on Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures. BOOK of ABSTRACTS. С. 435-436.
- Чебохин М.М., Фаттахов И.С., Попов А.А., Трушин О.С. Mathematical modeling of the growth of nanostructured thin films by glancing angle deposition // 12th International School and Conference "Saint-Petersburg OPEN 2025" on Optoelectronics, Photonics, Engineering and Nanostructures. BOOK of ABSTRACTS. С. 471-472.
- Трушин О.С., И.С. Фаттахов, Титов Д.Р., Попов А.А., Мазалецкий Л.А., Федоров А.С., Логунов М.В. Круговой дихроизм в киральных метаматериалах на основе наноструктурированных пленок кобальта // Нанофизика и Наноэлектроника. XXIX СИМПОЗИУМ 10 – 14 марта 2025 года, Нижний Новгород. Тезисы докладов. С. 218.
- Морозов М.О. Комбинированный резистивно-емкостной МЭМС переключатель для передовых систем связи // Физика, техника и технология сложных систем. Тезисы докладов Всероссийской с международным участием молодежной научно-практической конференции. Ярославль, 2025. С. 13-14.